Lexikon Monosilan

Monosilan ist hoch entzündlich und pyrophor, d.h. Monosilan entzündet sich an der Luft selbst. Austretendes Monosilan kann nicht gelöscht werden. Bei der Verbrennung entstehen Kieselsäure und Wasserdampf.

<math>\mathrm{SiH_4 + 2\,O_2 \rightarrow SiO_2 + 2\,H_2O\ \quad \Delta H \ll 0}</math>

In Wasser bei einem pH-Wert oberhalb von 7 zersetzen sich Silane zu Kieselsäure und Wasserstoff:

<math>\mathrm{SiH_4 + 4\, H_2O\ _{\overrightarrow{\mathrm{pH\ >\ 7}}} \ Si(OH)_4 + 4\, H_2}</math>

Monosilan und Wasser bilden Kieselsäure und Wasserstoff.

Unter Luft- und Feuchtigkeitsausschluß ist Monosilan bis ca. 300°C stabil. Darüber tritt Zerfall in Silizium und Wasserstoff ein.

<math>\mathrm{SiH_4 \rightarrow Si + 2\,H_2\ }</math>

Die UN-Nummer von Monosilan ist 2203, der Gefahrzettel 2.1.

Herstellung von Monosilan

Monosilan kann im Labor durch Reaktion von Magnesiumsilicid mit Salzsäure hergestellt werden. Technische Herstellungsverfahren beruhen auf der Hydrierung von Siliziumtetrachlorid mit Lithiumhydrid im Lithiumchlorid/Kaliumchlorid-Eutektikum^[1],

<math>\mathrm{SiCl_4\ +\ 4\ LiH\longrightarrow\ SiH_4\ +\ 4\ LiCl}</math>

bzw. auf der Dismutation von Hydrogenchlorsilanen, wie z. B. Trichlorsilan.^[3]

Verwendung

Monosilan wird zur Abscheidung von Silizium- Siliziumoxid- und Siliziumnitridschichten verwendet. Daher wird Monosilan hauptsächlich in der Halbleiterfertigung oder bei der Herstellung von Solarzellen eingesetzt.

Siehe auch

Einzelnachweise

↑ ^a ^b Roempp Online - Version 3.5, 2009, Georg Thieme Verlag, Stuttgart.
↑ ^a ^b ^c ^d ^e ^f ^g Eintrag zu Monosilan in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 15. Januar 2008 (JavaScript erforderlich)
↑ Hollemann, Wiberg: Lehrbuch d. Anorg. Chem, 91.-100. Auflage, Walter de Gruyter Verlag, Berlin, 1985.